扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的高分辨率电子显微镜，可用于对芯片中微小结构进行表面形貌和成分分析。

1️⃣ 原理

SEM利用高能电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品表面相互作用所产生的信号，如二次电子、反射电子、散射电子等，来获得样品表面的形貌和成分信息。

2️⃣ 应用

SEM广泛应用于芯片鉴定中的表面缺陷检测、器件结构分析、金属线路断裂分析等方面。通过SEM观察芯片表面形貌，可以判断芯片是否存在表面裂纹、氧化、划痕等缺陷，同时还可以对芯片器件结构进行观察和分析。

3️⃣ 操作

在进行SEM观察前，需要将芯片样品制备成适合SEM观察的样品，如利用离子切割仪制备出薄片样品。然后将样品放置在SEM样品台上，调整SEM参数，如电子束能量、扫描速度等，进行观察和分析。