超声波扫描业务简介
超声波扫描显微镜是一种利用超声波作为传播媒介的无损检测设备,在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。作为无损检测分析中的一种,它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测,被广泛的应用在物料检测(IQC)、失效分析(FA)、破坏性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次筛选、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。

超声波扫描原理

超声波在介质中传播时,若遇到不同密度或弹性系数的物质,会产生反射回波,而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异,扫描声学显微镜利用此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成图像,超声换能器能发出一定频率的超声波,经过声学透镜聚焦,由耦合介质传到样品上。超声换能器由电子开关控制,使其在发射方式和接收方式之间交替变换。超声脉冲透射进入样品内部并被样品内的某个界面反射形成回波,其往返的时间由界面到换能器的距离决定,回波由示波器显示,其显示的波形是样品不同界面的反射强度与时间(或距离)的关系。
通过控制时间窗口的时间,采集某一特定界面的回波而排除其它回波,超声换能器在样品上方以二维方式作机械扫描,通过改变换能器的水平位置,在平面上以接卸扫描的方式产生一幅反射声波随反射平面分布的图像。
超声波扫描应用范围
超声波扫描显微镜的应用范围非常广泛。例如,在材料科学领域,它可以用于检测金属、非金属、复合材料等各类材料的内部缺陷和分层。在生物学和医学领域,它可以用于研究生物组织的结构和功能,以及疾病的诊断。在电子工程领域,它可以用于检测电子元器件的内部结构和缺陷。半导体晶圆片、封装器件、大功率器IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;
生物医学:活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等。
案例展示
超声波扫描显微镜是一种强大的无损检测技术,能够提供样品内部结构的详细信息。它的应用范围广泛,包括材料科学、生物学、医学和电子工程等领域。虽然对样品有一些基本要求,但这种技术的非破坏性和高分辨率特性使其成为许多应用的首选。





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