表面形貌观测介绍

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表面形貌观测应用范围

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材料、电子、无铅焊接、机械加工、半导体制造、航空、汽车、陶瓷品、地质学、医学、冶金等。

表面形貌观测手段

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1、扫描电子显微镜进行形貌观察的主要内容是分析材料的几何形貌、材料的颗粒度及颗粒度的分布、物相的结构等。

2、光学显微镜主要应用于工装检具、金属件等的检定，电子产品组装、偏移、焊接异常检验，PCB/PCBA线路、防焊、孔、零件对准度以及文字图形缺陷检验。

3、AFM全称Atomic Force Microscope，即原子力显微镜，它是应用范围广，可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。在飞秒检测做AFM测试对样品有以下几点要求：（1）对象可以是有机固体、聚合物以及生 物大分子等。（2）样品大小一般不超过 1cm，高度也应控制在 1cm 以下，样品表面起伏不超过 15μm。（3）测试薄膜厚度应控制在 15μm 以下。

4、轮廓测量仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器。

检测标准

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常用标准（部分）

JYT 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则；

GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则；

IPC-6012 刚性印制板的鉴定及性能规范；

IPC-A-610电子组件的可接受性；

JIS B 0601-2013产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法.术语、定义和表面结构参数。