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元器件表面异物EDS元素分析
发布时间：2022-06-21 点击次数：1011
EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。
下为某客户元器件样品表面异物的能谱分析图谱：
上一个：
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