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轮廓测量介绍
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光学3D表面轮廓仪也叫白光干涉仪,主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳米级别的。
光学3D表面轮廓仪主要在半导体晶圆加工、3C行业的盖板、光学元器件、超精密加工以及各高等院校实验室。
轮廓测量仪器介绍
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仪器能力
测量范围:200*100*50mm
分辨率:0.1微米
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轮廓测量的应用范围
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测量立体形状 | 测量细微形状和粗糙度 |
轮廓测量 | 线粗糙度测量 |
平面测量 | 面粗糙度测量 |
面平面度测量 | 比较测量 ![]() |
体积面积测量 ![]() ![]() | 显微观察 ![]() |
轮廓测量的应用示例
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金属切削面(相隔位置的平面度)
喷砂处理(评估粗糙度)
金属断裂面 通过表面积、体积分析
PGA 统一测量高度和个数
PCBA 以平面度测量起伏
密封条线粗糙度 面粗糙度
齿轮全周截面形状