镍钛基材/镀膜基层扫描分析

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样品描述:

镀膜样品1个

检测目的:

检测镍钛合金镀膜层(C、Si、Ni、Ti)变化趋势。

检测方法:

ASTM E827-08 :由AES峰判别元素的标准规范;

ASTM E1078- 14(20):表面分析中样品准备和安装的标准指南;

ASTM E1829- 14(20):表面分析前样品处理的标准指南;

ASTM E996- 19 :AES和XPS数据报告的标准规范;

ASTM E1127-08(15):AES分析元素层深分布的标准指南.

检测仪器:

仪器信号:PHI 710 AES

电子枪:电子束电压:5kV;电子束电流:10nA.

离子枪:溅射电压:2kV;溅射面积:1mmx1mm

相对SiO2溅射速率:29. 7 nm/min

检测结果: 

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