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镍钛基材/镀膜基层扫描分析
发布时间：2022-08-04 点击次数：943
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样品描述:
镀膜样品1个
检测目的:
检测镍钛合金镀膜层(C、Si、Ni、Ti)变化趋势。
检测方法:
ASTM E827-08 :由AES峰判别元素的标准规范;
ASTM E1078- 14(20):表面分析中样品准备和安装的标准指南;
ASTM E1829- 14(20):表面分析前样品处理的标准指南;
ASTM E996- 19 :AES和XPS数据报告的标准规范;
ASTM E1127-08(15):AES分析元素层深分布的标准指南.
检测仪器:
仪器信号:PHI 710 AES
电子枪:电子束电压:5kV;电子束电流:10nA.
离子枪:溅射电压:2kV;溅射面积:1mmx1mm
相对SiO2溅射速率:29. 7 nm/min
检测结果:
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