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轮廓测量介绍

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光学3D表面轮廓仪也叫白光干涉仪,主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳米级别的。


光学3D表面轮廓仪主要在半导体晶圆加工、3C行业的盖板、光学元器件、超精密加工以及各高等院校实验室。


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轮廓测量仪器介绍

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    仪器能力         

      

    测量范围:200*100*50mm

    分辨率:0.1微米

    
 
    

                 


轮廓测量的应用范围

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                                  测量立体形状

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                        测量细微形状和粗糙度

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                            线粗糙度测量

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                                     平面测量

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                             面粗糙度测量

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                      比较测量

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              体积面积测量

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                      显微观察

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轮廓测量的应用示例

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            金属切削面(相隔位置的平面度)

 

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                        喷砂处理(评估粗糙度)

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          金属断裂面 通过表面积、体积分析


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              PGA 统一测量高度和个数

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               PCBA 以平面度测量起伏

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               密封条线粗糙度 面粗糙度

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               齿轮全周截面形状

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