TEM透射电镜基本原理
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透射电子显微镜(TEM)是以电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高放大倍数的电子光学仪器。根据不同工作模式,可以做高分辨扫描透射STEM, 高分辨TEM像,配备的球差自动校正实现原子级成像,晶体的选区衍射SAD,FFT快速傅里叶变换做微区晶型分析,其EDX能谱可以做空间分辨率达到纳米级的元素分析;配备的电子能量损失谱EELS, 适合于轻元素如C/N/O/Si在纳米范围内的分析。 由电子枪发射出来的电子束,在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜,会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑,照射在样品室内的样品上;透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息,样品内致密处透过的电子量少,稀疏处透过的电子量多;经过物镜的会聚调焦和初级放大后,电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像,最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上;从而将电子影像转化为可见光影像以供观察。 | ![]() |
TEM透射电镜仪器介绍
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![]() | 仪器能力介绍: STEM分辨率: 0.08nm @ Cs校正 TEM点分辨率0.204nm,晶格分辨率0.1nm EDS能量分辨率:131eV, EDS空间分辨率1~5nm EELS能量分辨率:1.0eV, 空间分辨率0.5nm 电压:80KV~200KV EDS:Super-X EDS, SDD无窗4探头, 0.98Srad EELS:Gatan 977 Enfinium ER |
TEM透射电镜分析示例
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