SEM-EDS分析（扫描电镜-能谱分析介绍）

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SEM-EDS分析结合了扫描电子显微镜（SEM）和能量色散X射线光谱（EDS）技术。 SEM通过高能电子束扫描样品表面，生成高分辨率的图像，揭示样品的微观形貌。 EDS则通过检测样品发射的特征X射线，确定其元素组成和相对含量。 两者结合，能够提供样品的详细形貌和化学成分信息。

SEM扫描电镜检测示例

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EDS能谱分析示例

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SEM/EDS设备展示

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SEM-EDS分析服务

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• 微观形貌观察：高分辨率成像，揭示样品表面的细节。

• 元素成分分析：精确检测样品中的元素种类和含量。

• 缺陷与故障分析：识别材料中的缺陷和故障点，帮助改进工艺和产品质量。

  
  

SEM/EDS分析手段————————————————————————————————————————————————————

主要用于无机材料微结构与微区组成的分析和研究，仪器的功能包括：

（1）电子衍射：选区衍射、微束衍射、会聚束衍射；

（2）成像：明场像（BF）、暗场像（DF）、衍射像、高分辨像(HREM)、扫描透射像，环角暗场像（HAADF）；

（3）微区成分：EDS能谱的点、线和面分析；

SEM/EDS应用范围

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• 材料科学：研究材料的微观结构和成分，优化材料性能。

• 电子元件：检测电子元件的焊接质量和故障分析。

• 材料范围：除磁性材料之外的任何无机材料，包括粉体、薄膜和块材；不适用于有机和生物材料。

• 表征范围：微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、

                  晶界结构和组成等。

送样须知

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粉末样品基本要求

    1、单颗粉末尺寸最好小于1μm；

    2、无磁性；

    3、以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪；

块状样品基本要求

   1、需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察；

   2、如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；

   3、无磁性；